Dry Pump Helium Leak Detector voor Wafer Leak Detection SFJ-231D
| Communication Interface: | RS232/485, LAN | Leak rate display: | Numbers, Bar Charts, Graphs |
| User Interface: | 7inch Color Touch Screen | Product Name: | Helium Leak Detector |
| Mini Leak Detection Rate(Pa.m3/s)/Vaccum Mode: | 5*10-13 Pa.m3/s | Response Time(s): | <1s |
| MES Interface: | Standard | Mini Leak Detection Rate(Pa.m3/s)/Sniffer Mode: | 2.5*10-9 Pa.m3/s |
| High Light: | Ultragevoelige heliumlekkadetector,Sniffer-modus Heliumlekkadetector,Grafieken weergeven Heliumlekktetector |
||
Dry Pump Helium Leak Detector voor Wafer Leak Detection SFJ-231D
Technische parameters van de heliumlekkadetector SFJ-231D
| Naam van het product | Heliumlekkadetector SFJ-231D |
| Minimale detecteerbare lekkage ((Pa·m3/s) / vacuümmodus | 5.0*10-13Pa·m3/s |
| Minimale detecteerbare lekkagesnelheid ((Pa·m3/s) / sniffermodus | 5.0*10-9Pa·m3/s |
| Maximale toelaatbare lekkage-detectiedruk (Pa) | 1500 |
| Reactietijd | < 1 s |
| Starttijd | ≤ 2 min |
| Ontdekbare kwaliteit | 2, 3,4 ((H2,He3, He4) |
| Mens-machine-interface | 7" kleuren LCD touchscreen |
| Ionbron | 2 stuks, met iridium bekleed yttriumoxide, automatische schakelaar |
| I/O Input/output-interface | 8 ingangen en 8 uitgangen |
| Communicatie-interface | RS232/485, USB*2 |
| MES-interface | standaard |
| Lijktekenenport | DN25KF |
| Stroomvoorziening | AC220V, 50Hz/60Hz |
| Werktemperatuur | 0°C tot 40°C |
| Taal | Engels |
| Vertoon van het lekpercentage | Figuur, streepjesgrafiek, curvegrafiek |
| Dimensie | 645*678*965 mm |
Toepassing van de SFJ-231D-heliumlekkadetectorvoor de Wafer
In de heliummassaspectrometrielekkage-detectietechnologie hangt de toepassing van droge pompen (olievrije droge vacuümpompen) voornamelijk af van de werkomstandigheden van de te controleren apparatuur,de reinigingsvereisten en de technische eisen van heliummassaspectrometrielekktekens (e).g. Wayeal SFJ-231D).
Detectiemethode: vacuümspray heliummethode (hoge gevoeligheid)
1: System Evacuatie en Baseline Kalibratie
Evacuatie tot basisdruk: Etseringskamer: ≤0,1 Pa (droge pomp + moleculaire pompcombinatie); CVD/PVD-kamer: ≤10−3 Pa (hogere eisen aan coatingapparatuur).
Kalibratie van de lekdetector: gebruik een standaardlekreferentie (bijv. 1×10−7 Pa·m3/s) om de SFJ-231D te kalibreren en de lineariteit van de instrumentrespons te verifiëren.
Stap 2: detectie van heliumspray
Detectiegebied: O-ringgroef, boorgatten, VCR/VCO-metalen afdichtingen, lasverbindingen, keramische isolatoren, koperen pakkingen, Bellows connecties.
Heliumspray-operatie:
Gebruik een handgeschikt heliumspraypistool (met een 0,1 mm fijn instelend mondstuk) op 3-5 mm afstand van het detectiepunt.Stel de heliumdruk op 0.2-0.3 MPa om verstoring van de luchtstroom te voorkomen.
Stap 3: Bepaling en registratie van het lekpunt
Leekpercentage: "Technologie" voor de "ontwikkeling" of "ontwikkeling" van "technologieën" voor de "ontwikkeling" van "technologieën" of "technologieën" voor de "ontwikkeling" van "technologieën".
Gegevensopname: Wanneer de SFJ-231D een piek van het lekkagepercentage weergeeft, wordt het lekpunt gemarkeerd met een markerende pen.
Bewaar curves van het lekpercentage en locatiegegevens (exporteren via USB).
Stap 4: Herinspectie en verificatie
Verricht een tweede heliumspray op geïdentificeerde lekken om de herhaalbaarheid te bevestigen.
Na het repareren van grote lekken, opnieuw evacueren naar basisdruk en een volledige herinspectie uitvoeren.
Minilekkadetectie 5*10-13Pa.m3/s Heliumlekkadetector met 7 inch touchscreen
Technical Specifications of SFJ-16C Helium Leak Detector Product Name Helium Leak Detector SFJ-16C Diamension 755*467*1180mm Operating temperature 0~40°C Detectable Quality 2, 3, 4 (H2, He3, He4) User Interface 7inch Color Touch Screen Detection Method Helium Leak Detection Mini Leak Detection Rate...
24V modulaire vacuümheliummassaspectrometerlekdetector
Modular Leak Detector Vacuum Helium Leak Tester Detector Introduction of Helium Leak Detector The modular helium mass spectrometer leak detector adopts modular structure design, small size, light weight, easy system integration, widely used in various automated assembly lines. It is characterized by ...
De vacuümheliumlek het Testen van het het Spectrumgas van de Machinemassa Detector 240W
Vacuum He Leak Detector Helium Mass Spectrum Leak Detector at Pump Introduction of Helium Leak Detector The helium mass spectrometer leak detector adopts modular structure design, which is easy for system integration and widely used in various automated assembly lines. Product Parameters SFJ-16M ...
Waeal Helium Leak Tester Helium Massaspectrometer Leak Detector Machine
Helium Mass Spectrometer Leak Detector Machine for Semiconductor Electronics Industry Introduction of Helium Leak Detector Helium mass spectrometry leak detector is an instrument for rapid localization and quantitative measurement of leaks in sealed containers. The helium mass spectrometry leak ...
- E-mail:export@wayeal.com.cn
- Telefoon:+8613586823203
- Whatsapp:8613586823203
- wechat:+8613586823203
