Dry Pump Helium Leak Detector voor Wafer Leak Detection SFJ-231D
Technische parameters van de heliumlekkadetector SFJ-231D
| Naam van het product |
Heliumlekkadetector SFJ-231D |
| Minimale detecteerbare lekkage ((Pa·m3/s) / vacuümmodus |
5.0*10-13Pa·m3/s |
| Minimale detecteerbare lekkagesnelheid ((Pa·m3/s) / sniffermodus |
5.0*10-9Pa·m3/s |
| Maximale toelaatbare lekkage-detectiedruk (Pa) |
1500 |
| Reactietijd |
< 1 s |
| Starttijd |
≤ 2 min |
| Ontdekbare kwaliteit |
2, 3,4 ((H2,He3, He4) |
| Mens-machine-interface |
7" kleuren LCD touchscreen |
| Ionbron |
2 stuks, met iridium bekleed yttriumoxide, automatische schakelaar |
| I/O Input/output-interface |
8 ingangen en 8 uitgangen |
| Communicatie-interface |
RS232/485, USB*2 |
| MES-interface |
standaard |
| Lijktekenenport |
DN25KF |
| Stroomvoorziening |
AC220V, 50Hz/60Hz |
| Werktemperatuur |
0°C tot 40°C |
| Taal |
Engels |
| Vertoon van het lekpercentage |
Figuur, streepjesgrafiek, curvegrafiek |
| Dimensie |
645*678*965 mm |
Toepassing van de SFJ-231D-heliumlekkadetectorvoor de Wafer
In de heliummassaspectrometrielekkage-detectietechnologie hangt de toepassing van droge pompen (olievrije droge vacuümpompen) voornamelijk af van de werkomstandigheden van de te controleren apparatuur,de reinigingsvereisten en de technische eisen van heliummassaspectrometrielekktekens (e).g. Wayeal SFJ-231D).
Detectiemethode: vacuümspray heliummethode (hoge gevoeligheid)
1: System Evacuatie en Baseline Kalibratie
Evacuatie tot basisdruk: Etseringskamer: ≤0,1 Pa (droge pomp + moleculaire pompcombinatie); CVD/PVD-kamer: ≤10−3 Pa (hogere eisen aan coatingapparatuur).
Kalibratie van de lekdetector: gebruik een standaardlekreferentie (bijv. 1×10−7 Pa·m3/s) om de SFJ-231D te kalibreren en de lineariteit van de instrumentrespons te verifiëren.
Stap 2: detectie van heliumspray
Detectiegebied: O-ringgroef, boorgatten, VCR/VCO-metalen afdichtingen, lasverbindingen, keramische isolatoren, koperen pakkingen, Bellows connecties.
Heliumspray-operatie:
Gebruik een handgeschikt heliumspraypistool (met een 0,1 mm fijn instelend mondstuk) op 3-5 mm afstand van het detectiepunt.Stel de heliumdruk op 0.2-0.3 MPa om verstoring van de luchtstroom te voorkomen.
Stap 3: Bepaling en registratie van het lekpunt
Leekpercentage: "Technologie" voor de "ontwikkeling" of "ontwikkeling" van "technologieën" voor de "ontwikkeling" van "technologieën" of "technologieën" voor de "ontwikkeling" van "technologieën".
Gegevensopname: Wanneer de SFJ-231D een piek van het lekkagepercentage weergeeft, wordt het lekpunt gemarkeerd met een markerende pen.
Bewaar curves van het lekpercentage en locatiegegevens (exporteren via USB).
Stap 4: Herinspectie en verificatie
Verricht een tweede heliumspray op geïdentificeerde lekken om de herhaalbaarheid te bevestigen.
Na het repareren van grote lekken, opnieuw evacueren naar basisdruk en een volledige herinspectie uitvoeren.
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
