CE-gecertificeerde vacuüm-heliumlekkage-detector voor de halfgeleiderindustrie

SFJ-16M Heliumlekdetector

Prestatie-indicatoren






 

Minimaal detecteerbare leksnelheid
(Pa·m³/s)/ vacuümmodus

Vacuümmodus (ULTRA):5.0×10^-13 Pa·m³/s (helium pompsnelheid >5 l/s)
Vacuümmodus (FINE):1.0×10^-12 Pa·m³/s (helium pompsnelheid 2.5L/s)

Minimaal detecteerbare leksnelheid
(Pa·m3/s)/ sniffermodus

5.0×10^-8 Pa·m³/s

Reactietijd(s)

<1

Opstarttijd(min)

≤95s

Lekdetectiebereik
(Pa·m³/s)

5.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

Leksnelheid weergavebereik
(Pa·m³/s)

1.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

Maximaal toelaatbare lekdetectiedruk(Pa)

1500

Detecteerbare kwaliteit

2,3,4(H2 , He3, He4)

Basisconfiguratie










 

Mens-machine interface

5 "kleuren LCD-aanraakscherm

Ionbron

2 stuks, iridium gecoat yttriumoxide, automatische omschakeling

I/O Invoer/uitvoer interface

Acht ingangen en acht uitgangen

Communicatie-interface

RS232/485,LAN

MES-interface

Standaard

Fysieke afmetingen van het instrument
(B)×(D)×(H),mm

592 * 498 * 370mm

Specificaties van de lekdetectiepoort

DN16 KF/2 stuks

Voeding

DC24V

Bedrijfstemperatuur

0-40ºC

Vermogen

240W

Weergavetaal

Zowel Chinees als Engels

Leksnelheid weergave

Figuur, staafdiagram, lijndiagram