CE-gecertificeerde vacuüm-heliumlekkage-detector voor de halfgeleiderindustrie

SFJ-16M Heliumlekkadetector

Prestatie-indicatoren






 

Minimale detecteerbare lekkage
(Pa·m)³/s) / vacuümmodus

Vacuümmodus (ULTRA):5.0 × 10^-13 Pa·m³/s(heliumpompsnelheid > 5 l/s)
Vacuümmodus (FINE):1.0 × 10^-12 Pa·m³/s(heliumpompsnelheid 2,5 L/s)

Minimale detecteerbare lekkage
(Pa·m3/s) / sniffermodus

5.0 × 10^-8Pa·m³/s

Reactietijd (s)

< 1

Starttijd (min)

≤ 95 s

Bereik van detectie van lekken
(Pa·m)³/s)

5.0 × 10^-13~ 1,0 × 10^-3Pa·m³/s

Afbeeldingsbereik van het lekpercentage
(Pa·m)³/s)

1.0 × 10^-13~ 1,0 × 10^-3 Pa·m³/s

Maximale toelaatbare lekkage-detectiedruk ((Pa)

1500

Ontdekbare kwaliteit

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Basisconfiguratie










 

Mens-machine-interface

5 "kleuren LCD touchscreen

Ionbron

2 stuks, met iridium bekleed yttriumoxide, automatische schakelaar

I/O Input/output-interface

Acht ingangen en acht uitgangen

Communicatie-interface

RS232/485,LAN

MES-interface

Standaard

Fysieke grootte van het instrument
(W) ×(D) ×(H), mm

592 * 498 * 370 mm

Specificaties van de lekdetectiepoort

DN16 KF/2 stuks

Stroomvoorziening

DC24V

Werktemperatuur

0-40oC

Kracht

240 W

Toontaal

Chinees en Engels.

Vertoon van het lekpercentage

Figuur, streepjesgrafiek, curvegrafiek