Roestvrijstalen Pirani vacuümmeter voor heliumlekdetector

Invoering van Pirani vacuümmeter

De Pirani vacuümmeter is een belangrijke sensor in het vacuümsysteem van een heliummassaspectrometerlekkadetector.gebruikt voor het meten van de druk in het medium tot laag vacuümbereik (met name tijdens de ruwe pompfase)De kern van het detectie-element is meestal gemaakt van metalen zoals wolfraam of nikkel, terwijl de gehele behuizing is gemaakt van roestvrij staal.

Functie van de Pirani-vacuummeter

De Pirani-vacuümmeter speelt de rol van "procesmonitor" en "systeembeschermer" in heliummassaspectrometerlekktekens, met de volgende specifieke functies:
Bewaking van de vacuümdruk bij ruwe pompen (voorlijn):
Wanneer de lekdetector wordt opgestart, moet de mechanische pomp eerst het vacuümsysteem van de atmosferische druk naar een relatief lage druk (meestal van de orde van 10 Pa tot 0,1 Pa) evacueren.De Pirani-meter controleert de drukveranderingen in deze fase in realtime en toont deze op de instrumentinterface.
Voor het verstrekken van een vergrendelingssignaal voor het openen van een grootvacuümklep (kernbeschermingsfunctie):
De kernmassaspectrometerkamer van de lekdetector kan alleen werken onder hoge vacuümomstandigheden (meestal onder 0,1 Pa).Als de hoogvacuümklep (die de mechanische pomp verbindt met de diffusiepomp/turbomoleculaire pomp) wordt geopend voordat de voorste druk voldoende laag is, kan het de hoge vacuümpomp ernstig beschadigen en het hele systeem besmetten.
De Pirani-meter is verbonden met het besturingssysteem van het instrument.Het besturingssysteem laat alleen toe dat de hoge vacuümklep opengaat en de turbomoleculaire pomp start wanneer de Pirani-meter detecteert dat de voorste druk onder een vooraf ingestelde veiligheidsdrempel ligtDit is een cruciale veiligheidsmaatregel om de dure hoge vacuümpomp en massa spectrometer te beschermen.
Hulp bij de diagnose van de systeemstatus en de locatie van het lek:
Door de snelheid van de drukdaling tijdens het pompen en de uiteindelijke bereikbare stabiele druk te observeren,het is mogelijk om voorlopig vast te stellen of het systeem een groot lek heeft (de druk daalt consequent niet) of een aanzienlijke interne uitgassing (de druk daalt langzaam).
Als het sproeien van helium niet alleen een massa-spectrometersignaalrespons veroorzaakt, maar ook een merkbare stijging van de Pirani-meting veroorzaakt,Het geeft meestal aan dat er een relatief groot lek is..